一、总要求
对洁净室建筑装饰材料的总要求主要有以下几点：不产尘、不积尘，易清洁，表面光滑平整，具耐磨性，有良好的绝缘性能，不易产生静电、不吸湿、不透湿，吸声性能好，容易加工，价格便宜等。
二、一般要求
1.地面
对地面的一般要求有以下几点：平整光滑，耐磨，不易起尘，耐侵（酸、碱、药品等），防静电，防滑，可少缝或无接缝加工，易清扫。
2.墙面
对墙面的一般要求为：表面平整光滑，不起尘，避免眩光，便于清洁，减少凹凸面，转角处容易用圆弧材料或密封材料处理。
3.门窗
洁净室门窗是维护结构的一个组成部分，除了有气密性要求外，还与墙面一样，要求表面光滑平整，不积尘。双层玻璃窗的玻璃应分别与内外墙面平齐，单层玻璃窗用金属压条时，应将金属压条做成圆弧形或有一定的坡度，以便于清洁，不宜设窗台。
门窗的缝隙大致有固定缝隙和活动缝隙两类。固定缝隙如固定窗的缝隙比较容易处理，可以采取“一劳永逸”的密封措施；活动缝隙如门框的缝隙就不能像固定缝隙那样加以处理，要根据门窗的材质、质量、开启频度、是否设有门槛、是否与外气直接相同等情况，从门扇、门框、五金材料、密封条及其作用方式等方面综合考虑，并预先做好相应的设计。

4.吊顶
吊顶要求基本与墙面相同：表面平整光滑，不起尘，避免眩光，便于清洁，减少凹凸面，转角处容易用圆弧材料或密封材料处理。
5.密封嵌缝材料
对密封嵌缝材料的一般要求是：密封性好，有一定弹性，不易老化，容易凝结、固化，容易施工，有一定的黏着力，无毒，无味，色泽外观与装饰协调，并且尽可能使用单组分材料。半导体工厂中使用的密封胶不应营销产品的良品率。