洁净工程控制静电产生,可以通过控制工艺过程和工艺过程中相互接触的材料,以尽量减小静电产生量?？刂凭驳缁壑饕巧璺?加速静电的释放和造成静电得以被中和的条件。

 

　　静电是电子在材料内部或者在材料之间移动（含极化和传导） 的产物。两种不同的材料互相接触，它们之间的小于一定的距离，如 10-25cm时，由于隧道效应，两种材料内的电子穿过界面而相互交换。当交换达到平衡时，材料间将产生一定的电势差，界面两侧出现 了等量正负电荷。若把接触后的两种材料分开，两种材料将分别带上等量正负电荷，这就是静电产生的基本原理。

 

　　静电的产生主要有以下三种方式：摩擦起电、传导带电、感应带电。

 

　　洁净工程防静电措施应该包括以下三条主要原则：

 

　　(1)连接工作间内所有导体(包括人员)

 

　　(2)使工作间内的非导体保持静电平衡;

 

　　(3)将静电安全工作区之间所有对静电敏感的物件装人静电防护罩内：

　　以上三条很重要,必须按次序操作。其中,接地是最重要的一项。如果孤立的导体带了电,将它接地就可使静电释放。通过这种方法 ,设备、材料和许多适合洁净工程的诸如印制电路基板、人造织物、塑料运送盘、聚四氟乙烯(tefon)等一些非导电材料,不能用接地的 方法将静电消除。那么就需要其他方法以中和电荷。对存在于绝缘体和与大地隔离的导体上的静电,实际上，洁净工程中还经常用空气 离子发生器来对付它?？掌胱臃⑸骺梢圆?、负空气离子团,去中和洁净工程内的静电。

 

　　在洁净工程内使用的空气离子发生器,必须符合与其他设备相容的一般方针,而且空气离子发生器的运用应不产生洁净室污染?？?气离子是空气中失去或得到电子的气体分子。在洁净室中最一般的获得空气离子的方法是利用电晕电离器。在空气离子发生器里,将很 高的电压加到发射极尖端上,形成冠状电场,从而会很容易将空气分子的电子移走,也就是使空气发生电离。

 

　　当电离的空气与带电的绝缘体表面接触时,带电表面就会吸引极性相反的空气离子,从而消除静电。因为洁净工程中造成静电带电 的电荷,既有正电荷,也有负电荷。所以,中和这些静电,就既需要正空气离子,也需要负空气离子。

 

　　静电一般情况下是“难以看见，且不易摸着”，但其又近乎是无处不在、无时不有，所以静电防护是一项综合的系统工程，从原则上 说静电防护应从控制静电的产生和控制静电的消散两方面进行，控制静电产生主要是控制工艺过程和工艺过程中材料的选择，控制静 电消散则主要是快速而安全地将静电释放和中和。